鈦泵的性能及除氣機(jī)理

鈦泵的性能

（1） 極限壓強(qiáng)：10-8帕

（2） 抽速：

鈦泵的抽速與陽極電壓和磁場強(qiáng)度有關(guān)，磁場強(qiáng)時(shí)抽速也大，對應(yīng)..抽速的陽極電壓也高。常用鈦泵的抽速有25升/秒、5升/秒。對于需要大抽速的場合，可用基本結(jié)構(gòu)單元并聯(lián)的方式使抽速達(dá)到50升/秒、100升/秒等。

（3） 啟動壓強(qiáng)：10-2帕

（4） 壽命：

a、陰極耗盡壽命

陰極鈦板因?yàn)R射穿通而使泵無法使用。

b、陽極剝落壽命

陽極內(nèi)沉積鈦膜的厚度太大時(shí)會產(chǎn)生剝落，導(dǎo)致泵內(nèi)壓強(qiáng)的不規(guī)則強(qiáng)烈變化，使泵無法使用。

c、陽極吸飽壽命

陽極上吸附和溶解了大量的氦氣、氫氣，當(dāng)達(dá)到飽和狀態(tài)時(shí)泵不能再吸附氣體。

在正常使用情況下，濺射離子泵的壽命可達(dá)幾萬小時(shí)。

除氣機(jī)理

（1） 對活性氣體的抽除

對N2、O2、CO和CO2等氣體的排除主要靠淀積于陽極筒內(nèi)壁上的鈦膜的化學(xué)吸附。

（2） 對氫氣的抽除

對氫氣的抽除有化學(xué)吸附，也有擴(kuò)散、吸收、溶解作用。

（3） 對惰性氣體的抽除

對惰性氣體的排除，主要靠離子“掩埋”，被電離的惰性氣體的離子轟擊陰極時(shí)，有以下三種情況：

a、離子直接打入陰極內(nèi)，或打入陰極邊緣對面的陽極板上的鈦淀積層內(nèi)；

b、斜射的離子切入陰極表面，離子和鈦一起被掀掉而沉積在陰極板的周圍或其它地方；

c、離子沒有打入板內(nèi)，但是從陰極得到電子而復(fù)合為中性原子，然后又反射到陽極內(nèi)表面的鈦膜中。

鈦泵電源

鈦泵的電源是高內(nèi)阻電源，其空載輸出電壓在3~7KV間，但負(fù)載電流大時(shí)，輸出電壓降至400V左右。一般濺射離子泵使用5KV倍壓整流電源?？梢杂昧鬟^鈦泵陰陽極的放電電流反映所抽空間的真空度。濺射離子泵在額定電壓與磁場強(qiáng)度下的放電電流Iion（mA）與壓強(qiáng)P（Torr）有一定的曲線關(guān)系。所以通過離子泵電源可反映出壓強(qiáng)的大小。

泵電源的面板上顯示有：輸出直流高壓和鈦泵放電電流等。